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非单向流是一种不均匀气流分布方式,其速度、方向在洁净室内不同地点是不同的,这是洁净室中使用为普遍的气流组织形式;非单向流洁净室是把从污染源散发出来的尘、菌污染物在室内扩散作为前提,用经过高效过滤器处理的洁净空气将污染物冲淡稀释,从而保持室内所需的空气洁净度等级。因此非单向流洁净室所需要的换气次数将随着要求的洁净度和室内的污染物扩散情况不同而差别很大。非单向流洁净室的气流组织形式依据高效过滤器及回风口的安装方式不同而分为下列几类:**送、侧下回;侧送、侧回;**送、**回,这其中**送、侧下回的气流组织形式是较为常用的形式。
带扩散孔板风口**送、下侧回的非单向流洁净室,经高效过滤器的洁净空气由扩散板送出,工作区气流分布比较均匀,其空气洁净度明显优于周围,而周围区域由于送风进入室内后不断卷入室内污染空气,洁净度较差;在相邻送风口之间或洁净室四角、边沿等送风气流不能覆盖的部位洁净度会差些。所以在布置**送风口时,为使洁净室内各处洁净度尽可能的均匀,在总送风量一定的条件下适当多设送风口或均匀布置送风口,尽可能地让相邻送风口气流在工作区高度上衔接,确保工作区要求的洁净度;有时为了满足生产工艺关键部位的空气洁净度等级,在不影响洁净室**板、灯具布置或不太损害整体美观的情况下,可按工艺设备布置调整送风口位置采用不均匀布置的方式。
单侧上送、对侧下回或单侧上送、同侧下回的非单向流洁净室,这类气流流型虽可降低建筑层高,也可简化管道系统,但工作区高度可能会处于回流、涡流区,一般只适用于房间宽度小于6m的8-9级的洁净室;**送**回的非单向流洁净室一般用于回风口不便在侧墙下部布置时采用的气流流型,将**部回风口设置在洁净室的边、角部位或对洁净度不敏感的工艺设备上方,一些洁净工程实践说明这种气流流型能确保工作区所需的一定洁净度要求,其效果常常优于侧送侧回气流流型。
非单向流洁净室内的尘、菌污染物可扩散到室内的任何地方,局部的设备或操作的大量发尘将会影响整个系统、房间,这对净化空调系统十分不利,即使增加换气次数也不一定取得预期效果,在实际工程中通常是采用局部处理的方法,将发尘量大的排气由排气罩和排气管道经袋式除尘器等除尘装置集中处理后再循环使用,若排气量不大或循环使用不经济或排气中含有对产品、人体有害的尘、菌时,不应循环使用,而应经处理达到国家规定的排放标准后排入大气。
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混合流洁净厂房是将非单向流流型和单向流流型在同一洁净室内组合使用,单向流洁净室的设备费和运行费都很高,但在某些实际洁净室工程中往往只是部分区域有严格的洁净度要求,而不是整个洁净室(区);在需要空气洁净度严格的部位采用单向流流型,其他则为非单向流流型;这样既满足了使用要求,也节省了设备投资和运行费用;混合流洁净室的一般形式为整个洁净室为非单向流洁净室,在需要空气洁净度严格的区域上方采用单向流流型的洁净措施,使该区域得到满足要求的单向流流型洁净区,以防止周围相对较差的空气环境影响局部的高洁净度。
混合流的气流流型,形成了洁净室内不同区域有不一样的空气洁净度等级,利用不同的气流流型的特点满足产品生产过程、操作过程对空气洁净度的要求,单向流工作区的范围、宽度可根据产品生产工艺要求或生产工艺设备确定,通常要求空气洁净度严格的生产过程在单向流区完成,人员活动、物料运输和要求不严格的生产操作等可在非单向流区进行。这样既满足产品生产要求,又能使操作人员的活动舒适,维修区或管道间利用回风保持一定的空气洁净度,既减少了污染又使整个洁净室的送风量减少,减少洁净室建造费用,降低能源消耗和运行费用。如果产品生产过程或生产设备要求较多地增大单向流区的宽度,采用层流罩已不能满足需要时,可采用多台风机过滤单元(FFU)构成所需宽度的单向流洁净区,此时为解决风机过滤单元的循环风的冷量平衡,应在FFU的送风静压箱内按计算需要增设干式表冷器对送风进行冷却、调节送风温度。
洁净厂房的压差就是使洁净室与周围的空间维持一定的静压差,对厂房外环境、洁净度不同的洁净室之间,或洁净室与一般房间之间保持适当的压差值。其目的是为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时,洁净室的洁净度免受邻室的污染或污染邻室。洁净室与邻室维持正的静压差是较为常见的情况,实际工程中的工业洁净室和一般生物洁净室都是采用维持正压。但对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生产致敏性药物、高活性药物的生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负的静压差。当不同空气洁净度等级或产品生产工艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室(区)之间,如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成不应该出现的空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室(区)之间的静压差范围应为5-20Pa,并应采取可行的技术措施控制洁净室(区)之间的静压差。
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除了合理确定纯水制取的流程外,纯水特别是**纯水的输送设计也是较其重要的,这里主要是出水输送水配管的设计及管道材料的选择。随着生产工艺对纯水水质的不断提高,甚至到了理论纯水的程度,尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求较其严格,而且对、微粒、**物及溶解氧等都有较其严格的要求,除了严格的纯水制造过程外,纯水输送管道的管材选择和管网设计是保证使用点水质的关键。
循环水量宜为使用量的30%-**;干管流速宜为1.5-3m/s;不循环的支管长度应尽量短,其长度不宜大于6倍管径;供水干管上应设有清洗接口;管道系统各组成部分密封严格,不得又渗气现象。管道内壁的光洁度管道内壁如有微小的凹凸,会造成微粒的沉积和微生物的繁殖,导致微粒和两项指标的不合格,PVDF管道粗糙度可达<1μm,而不锈钢管约为几十微米;管道及管件的接头处的平整度对于防止产生水流的涡流区是非常重要的。除了选择合适的管材外,管道定期清洗液是保证水质的重要手段,主要是防止长期运行后,内壁产生沉积物及微生物积聚使水质下降,因此在涉及车间内纯水管道时要留有排空和清洗的接口。
高纯度气体的供应方式有现场制气,用管道输送供气;外购液态气体,用液态气体槽车输送供气;外购气体钢瓶,用气体钢瓶或钢瓶组输送供气等,具体某一工业企业采用哪一种供气方式,应根据工厂的生产规模及用气量、用气质量,工厂所在城市或周边地区的气体供应状况等因素经过认真的技术经济比较后确定。
人员净化用室,应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、洁净工作服等房间。厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤和干燥间等其他用室,可根据洁净室的用途、产品生产要求和具体设计的实际情况确定是否设置。所有进入洁净室的人员在换鞋处净鞋或换鞋,目的在于使净化用室入口处不致受到严重污染,多数洁净厂房人员入口前设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋垫、换鞋、套鞋等净化措施。
为了保护人员净化用室的清洁,彻底的办法是在衣前将外用鞋脱去,换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行衣前换鞋的制度,其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑,换鞋设施的布置考虑了外用鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区分,避免了清洁鞋被外用鞋污染,例如跨越鞋柜式换鞋,清洁平台上换鞋等都有很好的效果。外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不洁物,服装本身也会散发纤维屑,衣室将外出服及随身携带的其他物品存放于的存衣柜中内,避免外出污染洁净工作服。洁净的手不可用普通毛巾擦抹,因为普通毛巾易产生纤维尘,的办法是热风吹干,电动自动烘手器就是一种较好的选择。
洁净区设置厕所不仅*使洁净室受到污染,还会影响洁净室(区)的压差控制,所以不要在洁净厂房的人员净化用室的范围内设厕所,如果确需在人员净化用室内设置时,应设在盥洗室之前,厕所前增设前室,供入厕前衣、换鞋用,同时室内应连续排风,以免臭气、湿气进入洁净区。