人员净化用室,应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、洁净工作服等房间。厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤和干燥间等其他用室,可根据洁净室的用途、产品生产要求和具体设计的实际情况确定是否设置。所有进入洁净室的人员在换鞋处净鞋或换鞋,目的在于使净化用室入口处不致受到严重污染,多数洁净厂房人员入口前设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋垫、换鞋、套鞋等净化措施。
为了保护人员净化用室的清洁,彻底的办法是在衣前将外用鞋脱去,换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行衣前换鞋的制度,其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑,换鞋设施的布置考虑了外用鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区分,避免了清洁鞋被外用鞋污染,例如跨越鞋柜式换鞋,清洁平台上换鞋等都有很好的效果。外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不洁物,服装本身也会散发纤维屑,衣室将外出服及随身携带的其他物品存放于的存衣柜中内,避免外出污染洁净工作服。洁净的手不可用普通毛巾擦抹,因为普通毛巾易产生纤维尘,的办法是热风吹干,电动自动烘手器就是一种较好的选择。
洁净区设置厕所不仅*使洁净室受到污染,还会影响洁净室(区)的压差控制,所以不要在洁净厂房的人员净化用室的范围内设厕所,如果确需在人员净化用室内设置时,应设在盥洗室之前,厕所前增设前室,供入厕前衣、换鞋用,同时室内应连续排风,以免臭气、湿气进入洁净区。
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除了合理确定纯水制取的流程外,纯水特别是**纯水的输送设计也是较其重要的,这里主要是出水输送水配管的设计及管道材料的选择。随着生产工艺对纯水水质的不断提高,甚至到了理论纯水的程度,尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求较其严格,而且对、微粒、**物及溶解氧等都有较其严格的要求,除了严格的纯水制造过程外,纯水输送管道的管材选择和管网设计是保证使用点水质的关键。
循环水量宜为使用量的30%-**;干管流速宜为1.5-3m/s;不循环的支管长度应尽量短,其长度不宜大于6倍管径;供水干管上应设有清洗接口;管道系统各组成部分密封严格,不得又渗气现象。管道内壁的光洁度管道内壁如有微小的凹凸,会造成微粒的沉积和微生物的繁殖,导致微粒和两项指标的不合格,PVDF管道粗糙度可达<1μm,而不锈钢管约为几十微米;管道及管件的接头处的平整度对于防止产生水流的涡流区是非常重要的。除了选择合适的管材外,管道定期清洗液是保证水质的重要手段,主要是防止长期运行后,内壁产生沉积物及微生物积聚使水质下降,因此在涉及车间内纯水管道时要留有排空和清洗的接口。
高纯度气体的供应方式有现场制气,用管道输送供气;外购液态气体,用液态气体槽车输送供气;外购气体钢瓶,用气体钢瓶或钢瓶组输送供气等,具体某一工业企业采用哪一种供气方式,应根据工厂的生产规模及用气量、用气质量,工厂所在城市或周边地区的气体供应状况等因素经过认真的技术经济比较后确定。
洁净厂房建筑设计要综合考虑产品生产工艺要求及生产设备特点、净化空调系统和室内气流流型以及各类管线系统安排等因素,进行建筑物的平面和剖面设计;在满足工艺流程要求的基础上,恰当地处理洁净用房和非洁净用房以及不同洁净等级用房之间的相互关系,创造优综合效果的建筑空间环境。洁净厂房内通常除了设有洁净房间之外,还应设置产品生产所需的生产辅助房间,人员净化和物料净化用房间、公用动力设施用房等,因此洁净室建筑设计协调好、安排好洁净建筑内各类房间的平面、空间布置,尽量做到对限度的平面、空间的利用。
洁净室通常为无窗厂房或设有洁净房间之外,还应配置产品生产所需的生产辅助用房,人员净化和物料净化用房间、公用动力设施用房等,因此洁净室建筑设计协调好、安排好洁净建筑内各类房间的平面、空间布置,尽量做到对限度的平面、空间的利用。洁净生产区的空气洁净度等级应根据产品生产工艺要求确定,这是洁净建筑设计的主要依据,为做好洁净生产区的建筑设计还应了解该产品生产的各种设计条件,如温度、湿度要求,气流流型要求,生产所需的原辅料性质和水、电、气的要求,对噪声、振动、静电等环境条件和要求等。
净化空调系统、公用动力系统等用房,这部分房间是洁净厂房的重要组成部分,在具体洁净室工程中应在洁净厂房中设置哪些房间,面积多少等都与该洁净厂房的产品生产有关,对于生产微电子产品或药品生产用洁净室的设备区用房差异很大;在洁净厂房设置哪些设备用房与具体工程的总体规划有关,但是目前在洁净厂房设计中常常将净化空调设备、供冷供热(不含锅炉房)设备和水、电设施布置在洁净厂房中,这样做既方便管理,又可减少管线长度等。在对洁净室的建筑进行设计时,对用于生产工艺、净化空调以及公用动力设施的空间组成进行有效利用,做到面积省、减少能量消耗和防止污染或交叉污染等。
洁净室建筑设计,应确保建筑设备的运行,当一旦出现事故后,确保人员、财产。主体结构应具备同洁净室内的工艺装备水平,建筑处理和装饰水平相适应的等级水平,洁净厂房的耐久性,耐火能力、装修应与装备水平相互协调,使投资长期发挥作用。洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有灵活性,为生产工艺的调整创造条件;主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不应采用内墙承重体系,这样在不增加面积、高度的情况下,就可进行工艺和生产设备调整。
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洁净厂房内一般工作间照明应无阴影、均匀,以保证操作人员准确无误地操作,灯具采取均匀布置;根据房间大小,照度高低和工艺布置,灯具布置可采取不连续条形、连续光带形。吊顶上除灯具外还有送、排风口或高效过滤器风口,它们的位置受气流组织需要及风管走向所限,一般情况下,灯具布置宜给予**,冲突时需与暖通专业协调解决,避免灯具布置太靠近墙壁或偏离工艺生产线操作位置。
由于洁净厂房要求洁净的特殊性,灯具的造型也具有自身的特点,灯具的选型和安装上宜选吸顶式,与顶棚接缝处应用密封胶密封。灯具在顶棚上无论采取下开启还是上开启方式,灯具安装缝隙要采用可靠的密封措施,防止顶棚内非洁净空气漏入室内;为了保证洁净度,洁净厂房应禁用无封闭罩格棚式灯具。洁净室空调送风系统的气流流型采用垂直单向流,顶棚为密布高效过滤器HEPA或**高效过滤器ULPA,或风机过滤单元FFU,在高效过滤器铝型材框架下侧安装,这种灯具对气流影响较小;根据顶棚模数不同,可选择不同长度的灯具。紫外线灭菌与其他加热灭菌、臭氧灭菌、放射线灭菌、药剂灭菌等方法相比,有其自身优点:紫外线对所有菌种都有效,是一种广谱杀菌措施;对灭菌对象被照射物几乎没有影响;能连续进行灭菌,在有工作人员的场合亦可进行灭菌;设备投资低,运行*,使用简便。
紫外线是一种比可见的紫光波长还要短的不可见电磁波,波长范围在136~390nm,其中253.7nm波长的紫外线杀菌力,杀菌灯即基于此,产生253.7nm的紫外线,而核酸的辐射吸收波长恰为250~260nm,所以紫外线杀菌灯具有一定的杀菌作用。但紫外线对大部分物质的穿透能力很弱,只能用于物体的表面杀菌,对投有照射到的部分没有杀菌作用。对于用具诸类物品的灭菌,对其上下左右各个部位都照射,而且紫外线灭菌效果不能长久保持,因此根据具体情况定期进行杀菌。
辐射输出能力随着其使用环境的温度、湿度、风速等因素的不同而有所变化。环境温度低时输出能力也低,湿度增加其杀菌效果也会有所降低,紫外灯通常以接近相对湿度的60%为基准进行设计,当室内湿度增加时,由于杀菌效果降低,其照射量也相应增加。