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中净环球净化可提供无尘厂房、GMP厂房、医疗器械车间厂房的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。
洁净室(区)内只布置产品生产所必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。这样做的目的是尽可能减少造**、运行费用贵的洁净室(区)的面积,为此,通常情况下是将与有空气洁净度等级要求的产品生产工序、工艺设备、工作室设置在洁净室(区)内,对于没有空气洁净度要求的产品生产工序、工艺设备、工作室以及公用动力设施均应设置在非洁净室(区)内。应考虑大型工艺设备安装、维修的运输路线,并预留设备安装口或检修口;为防止设备检修时对洁净生产区的污染,平面布置时要考虑便于维修管理,有时可设置维修区。
在满足产品生产工艺和微振动、噪声要求等的前提下,宜将要求空气洁净度等级高的洁净室(区)靠近空气调节机房布置;空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。为减少污染,洁净室(区)内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口的位置或下风侧。合理安排、布置生产洁净区,人员净化、物料净化、工艺设备及相应物料供应管线,净化空调系统和各种公用动力设施及其管线等是洁净室空间设计的主要任务。
进行空间设计时,应仔细考虑生产洁净区与相关的生产区之间的关系,必须使空间布置做到有效、灵活,对于一般的洁净室在吊顶上部或楼面下布置送风、回风和排风管道以及各种水、气、电管线等,需要设置必要的空间;对于垂直单向流为主的洁净室,首先应在选择好气流流型、净化空调系统的形式和空调机、空气过滤器的前提下,合理、有效地布置洁净室的空间。在洁净室设计特别是单向流洁净室设计中,气流流型、净化空调设备的选择和布置方案的选择是确定洁净室空间布置的主要因素;在一般建筑设计中,空调机是建筑物的附属设备,它仅仅是补充完善建筑物的功能设备,但在洁净厂房中净化空调设备是实现空气洁净度的主要功能设备。当然对工业洁净室来说,生产工艺设备、工具和产品生产所需纯水、纯气、高纯化学品以及稳定的电力供应等也都是洁净厂房产品生产所必须的重要条件。
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非单向流是一种不均匀气流分布方式,其速度、方向在洁净室内不同地点是不同的,这是洁净室中使用为普遍的气流组织形式;非单向流洁净室是把从污染源散发出来的尘、菌污染物在室内扩散作为前提,用经过过滤器处理的洁净空气将污染物冲淡稀释,从而保持室内所需的空气洁净度等级。因此非单向流洁净室所需要的换气次数将随着要求的洁净度和室内的污染物扩散情况不同而差别很大。非单向流洁净室的气流组织形式依据过滤器及回风口的安装方式不同而分为下列几类:**送、侧下回;侧送、侧回;**送、**回,这其中**送、侧下回的气流组织形式是较为常用的形式。
带扩散孔板风口**送、下侧回的非单向流洁净室,经过滤器的洁净空气由扩散板送出,工作区气流分布比较均匀,其空气洁净度明显优于周围,而周围区域由于送风进入室内后不断卷入室内污染空气,洁净度较差;在相邻送风口之间或洁净室四角、边沿等送风气流不能覆盖的部位洁净度会更差些。所以在布置**送风口时,为使洁净室内各处洁净度尽可能的均匀,在总送风量一定的条件下适当多设送风口或均匀布置送风口,尽可能地让相邻送风口气流在工作区高度上衔接,确保工作区要求的洁净度;有时为了满足生产工艺关键部位的空气洁净度等级,在不影响洁净室**板、灯具布置或不太损害整体美观的情况下,可按工艺设备布置调整送风口位置采用不均匀布置的方式。
单侧上送、对侧下回或单侧上送、同侧下回的非单向流洁净室,这类气流流型虽可降低建筑层高,也可简化管道系统,但工作区高度可能会处于回流、涡流区,一般只适用于房间宽度小于6m的8-9级的洁净室;**送**回的非单向流洁净室一般用于回风口不便在侧墙下部布置时采用的气流流型,将**部回风口设置在洁净室的边、角部位或对洁净度不敏感的工艺设备上方,一些洁净工程实践说明这种气流流型能确保工作区所需的一定洁净度要求,其效果常常优于侧送侧回气流流型。
非单向流洁净室内的尘、菌污染物可扩散到室内的任何地方,局部的设备或操作的大量发尘将会影响整个系统、房间,这对净化空调系统十分不利,即使增加换气次数也不一定取得预期效果,在实际工程中通常是采用局部处理的方法,将发尘量大的排气由排气罩和排气管道经袋式除尘器等除尘装置集中处理后再循环使用,若排气量不大或循环使用不经济或排气中含有对产品、人体有害的尘、菌时,不应循环使用,而应经处理达到国家规定的排放标准后排入大气。
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洁净厂房微振控制
4.5.1有微振控制要求的洁净厂房设计应符合下列规定:
1在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处,应按微振控制要求设计。
2洁净室与周围性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。
3应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备﹑精密仪器仪表位置处的综合振动影响,以决定是否采取被动隔振措施。
4.5.2精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时,可按现行国家标准《隔振设计规范》GB 50463的有关规定执行。
4.5.3精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应具备下列条件:
1周围振源对其综合影响的振动数据。
2设备、仪器仪表的型号、规格及轮廓尺寸图。
3设备、仪器仪表的质量、质心位置及质量惯性矩。
4设备、仪器仪表的底座外轮廓图,附属装置,管道位置及坑、沟、孔洞尺寸,地脚螺栓及预埋件位置等。
5设备、仪器仪表的调平要求。
6设备﹑仪器仪表的容许振动值。
7所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数.外形尺寸及安装条件。
4.5.4精密设备﹑精密仪器仪表的被动隔振设计应符合下列规定:
1隔振台座应具有足够的刚度。
2隔振台座应采取倾斜校正措施。
3隔振系统各向阻尼比不应小于0.15。
4隔振措施不应影响洁净室内的气流流型。
4.5.5精密设备、精密仪器仪表的被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置。对供应空气弹簧用的气源应进行净化处理。
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洁净室内生产设备和产品生产过程的产尘量主要取决于产品生产过程的特点、选用的设备状况及其采取的技术措施、选用的原料辅料、工艺介质的纯度及其输送系统等;近年来由于采取了各种技术措施,降低了这类产尘量,如采用封闭隔断及局部排风措施等,使产尘区域相对于周围空间又一定的负压,防止粉尘扩散开来,以至危害其他工序的洁净度;采取排风罩等措施将工艺产尘排走,尽可能减少扩散到生产车间的粉尘量;车间机械设备的轴承、齿轮、传动皮带等运动部件在工作过程中,由于润滑油升温炭化及机械磨损等原因而散发到空气中的尘埃,越来越引起某些高洁净度工艺的关注;在集成电路生产中,随着集成度的提高,要求生产环境控制0.1μm尘粒达到1级或更严的洁净度,为了减少洁净室建造费用并可靠地达到别要求,目前许多大规模集成电路工厂采用微环境技术和生产工艺自动化技术,采用机械手、机器人,从而减少了室内人员等因素,使室内产尘总量下降。但一般洁净在通常情况下,室内主要的污染源仍然是人。
为**产品生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度,要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合技术措施包括:应采用产生污染物少的生产工艺及设备,或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散,采用产尘少、不易滋生微生物的室内装修材料及工器具;减少人员及物料带入室内的污染物质;维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压,防止室外防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗或其他缝隙孔洞侵入;加强洁净室的管理,按规定进行清扫、灭菌等。
洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求,采用不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气,同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气,靠这样的动态平衡,使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。通常所指的空气污染物质主要有以下三类;悬浮在空气中的固态、液态粒子,包含附着在粒子上的分子污染物;霉菌、等悬浮在空气中的微生物;各种对人体或生产产品有害的气体。目前洁净室对送入空气的净化方法,重要和使用广泛的方式是空气过滤法,送入洁净室的清洁空气,主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器,用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。
