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除了合理确定纯水制取的流程外,纯水特别是**纯水的输送设计也是较其重要的,这里主要是出水输送水配管的设计及管道材料的选择。随着生产工艺对纯水水质的不断提高,甚至到了理论纯水的程度,尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求较其严格,而且对、微粒、有机物及溶解氧等都有较其严格的要求,除了严格的纯水制造过程外,纯水输送管道的管材选择和管网设计是**使用点水质的关键。
循环水量宜为使用量的30%-;干管流速宜为1.5-3m/s;不循环的支管长度应尽量短,其长度不宜大于6倍管径;供水干管上应设有清洗接口;管道系统各组成部分必须密封严格,不得又渗气现象。管道内壁的光洁度管道内壁如有微小的凹凸,会造成微粒的沉积和微生物的繁殖,导致微粒和两项指标的不合格,PVDF管道粗糙度可达<1μm,而不锈钢管约为几十微米;管道及管件的接头处的平整度对于防止产生水流的涡流区是非常重要的。除了选择合适的管材外,管道定期清洗液是**水质的重要手段,主要是防止长期运行后,内壁产生沉积物及微生物积聚使水质下降,因此在涉及车间内纯水管道时要留有排空和清洗的接口。
高纯度气体的供应方式有现场制气,用管道输送供气;外购液态气体,用液态气体槽车输送供气;外购气体钢瓶,用气体钢瓶或钢瓶组输送供气等,具体某一工业企业采用哪一种供气方式,应根据工厂的生产规模及用气量、用气质量,工厂所在城市或周边地区的气体供应状况等因素经过认真的技术经济比较后确定。
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余压阀控制是通过调节安装在洁净室的余压阀上的平衡压块,从而改变余压阀的开度,实现室内正压控制;差压变送器控制是用差压变送器检测室内压力,自动控制必要的回风量;微机控制是在对正压值各不相同的多个房间进行正压控制时,利用微机和电动风阀控制不间的送风和回风,可使控制系统简单化。在洁净室中,如果新风量不足,工作人员将有气闷、头晕等不舒适的发生;为了满足工作人员的卫生要求,**工作效率,洁净室中要供给足量的新风;为了补偿洁净室中的工艺设备排风,洁净室需要补偿相应的新风;为了**洁净室的洁净度免受邻室或外界的污染以及洁净室中的产品或产品生产过程的致敏性物质等对邻室的影响,洁净室需要维持一定的压差值,这也需要新风的补充。因此洁净室所需的新凤量应满足:作业人员健康所需新鲜空气量;维持静压差所需补充风量;补充各排风系统的排风所需新风量。
洁净厂房的空调处理方案:一次回风系统,在回风可以循环利用的情况下,将回风与新风混合,再经过处理,送入洁净室。二次回风系统,在回风可以循环利用的情况下,先将部分回风和新风混合,经过处理后再与剩余的回风混合,经处理后送入洁净室;这种系统形式常用于别、较小工艺发热量的洁净室;二次回风的利用,节省了部分再热热量和部分制冷量。全新风系统,新风经过处理后,送入洁净室,然后不回风直接排入大气;这种系统形式用于回风不可以循环利用的情况,如动物房、生物*洁净室、药品生产产工厂的某些药品生产车间或某些工序;因为全新风系统是直接将室外新风处理到室内送风状态,回风不循环使用,所以是耗能大的系统形式。从节能角度出发,在采用全新风系统时,可考虑在系统中增设能量回收装置。送风系统+室内设空调机组,可以满足具体房间对温湿度的更严格的要求,尤其适合于改建的洁净室或有要求的小面积洁净室。
空气降湿的原理及方法有:升温降湿、冷却降温、吸收或吸附除湿三类;在实际工程设计中,各种工业产品的要求是多种多样的,有时单一的除湿方法不能满足要求,需要应用多种除湿方法联合除湿。空气吹淋室是人身或物料用净化设备,它是利用高速(25m/s)的洁净气流吹落并*拟进入洁净室人身服装或物料表面上附着粒子的小室;由于进出吹淋室的门是不同时开启的,可以兼起气闸作用,防止外部空气进人洁净室,并使洁净室维持正压状态;吹淋室除了有一定净化效果外,它作为人员进入洁净区的一个分界,还具有警示作用,有利于规范洁净室人员在洁净室内的活动。当班使用人数**过30人时,可将两台或多台单人吹淋室并联布置;但小室式吹淋室设置的数量不能过多,一般人员吹淋的时间约为30s/人,若需通过吹淋的人数很多时,可考虑设置通道式吹淋室。
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洁净厂房工业管道一般规定
1.1洁净室(区)工 业管道的敷设应符合下列规定:
1洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。
2干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。
3易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。
4当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时,必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。
1.2洁净室(区)工 业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB 50316的有关规定。
1.3工业管道设计应符合 下列规定:
1应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。
2在满足生产工艺的条件下 ,管道系统应尽量短。
3应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。
4管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。
1.4工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。
1.5可燃气体管道、氧气管道的末端或点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m,并应有防雨、防杂物侵入的措施。
1.6气体净 化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对气,体纯度的要求。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。
1.7气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净度的要求。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。
1.8洁净厂房内、 生产类别为现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的甲,乙类气体、液体室或分配室的设置应符合下列规定:
1当毗连布置时, 应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的上一层靠外墙处,并应与相邻房间采用耐火限大于3. 0h的隔墙分隔。
2应有良好的通风。
3泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》G058的有关规定执行。
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洁净厂房设计首先要了解所设计的洁净厂房的用途、使用情况、生产工艺特点等,比如设计的是集成电路生产用洁净室,首先要弄清楚产品的特性—集成性、特形尺寸和生产工艺特点;对洁净室的要求—空气洁净度等级、温湿度及其控制范围、防微振、防静电和高纯物质的供应要求等;其次要充分了解拟采用的生产工艺、工艺设备情况和工艺布局的设想。设计人员应协同确定洁净厂房各功能区的区划,确定各类生产工序(房间)的空气洁净度等级和各种控制参数—温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度和杂质含量;初步选择洁净室的气流流型并进行净化空调系统的初步估算及设计方案的对比、确定;进行洁净厂房的平面布置、空间布置,此时必须首先安排好产品生产区与生产区、动力公用设施区的合理布局,通常是顺应产品的生产工艺流程,在确保产品生产环境要求的情况下做到有利于产品生产的操作、管理,有利于节约能源、降低生产成本。
为确保洁净室室内所必须的空气洁净度,洁净室设计中涉及到的各个设计均应采取妥善的、可靠的技术措施,以减少或防止室内产生、滋生微生物,减少或阻止将微粒、微生物或可能会造成交叉污染的物料带入洁净室内,有效地将室内的微粒、微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室内。对于因尘粒、微生物或物料的交叉污染会危害产品质量或人身*时,还应采取*、可靠的技术措施防止交叉污染,如严格控制不同用途的洁净室之间的静压差,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。洁净室设计应确保*生产和满足环境保护的要求。洁净室的布置和各项设施的设计均必须符合消防、防火的要求,应按国家的有关标准、规范进行设计,由于洁净室内的平面和空间布置、走道曲折等特点,在进行各项技术设施的系统设计、设置配备和材质选择时,应特别注意按规定选用符合要求的系统、设备和材质。
洁净厂房内的洁净生产间及相关设施有洁净生产间、洁净室用房、管理区、公用动力设备区等,洁净间包括人净用室、生活用室、物净用室、实验室和物料贮存用库房等,这些房间与洁净生产间关系密切,有的还有洁净度要求;管理区包括办公、技术管理、会议休息等房间,此类房间在洁净厂房内应尽量减少,并尽量设置在洁净室(区)外;公用动力设备区包括空调机房、冷冻机房、水或气净化机房、变配电室、排风机及排气处理设备间、生产用化学品供应间等,这类房间的设置通常与洁净厂房的规模、空气洁净度等级、气流形式、产品生产工艺要求等有关,目前许多洁净厂房的设计中均将此类设备用房全部或大部都与洁净生产厂房设置在同一幢建筑内统一布置,既可以减少管线、降低冷热损失和节约能源,又可方便管理。
